Shipping Box Cleaning Agent
용도 :
반도체용 Si Wafer의 제조후 보관 및 이동을 위한 출하Box(FOSB) 또는 제조공정에 사용되는 FOUP 의 Cleaning에 사용하는 세정제

특징 :
1) 매우 우수한 Metal / Particle의 제거 능력으로 유수의 업체에서 사용 중.
2) 표면장력을 낮춰 Organic물질의 제거
2) 분산성이 우수하고 , 무기미립자의 응집과 재부착 방지
3) Metal Ion, Particle을 포함하지 않으므로 정제성 높은 분산 세정제
4) 우수한 금속 봉쇄능력을 발휘
[Physical Properties]
항 목 KS-3030
Appearance(외관 @상온) 담황색투명액체
pH9.8
Viscosity3.8
Particle (ea/mL @ 0.5㎛ 이상)100 이하
CODMn  200
[ 첨가량 vs. Zeta Potential ]

* 측정 : 전기영동법
[ 금속이온 제거능력 ]

* 측정 : 각 금속이온 10ppm 수용액에 침적한 Wafer를 사용
5분 침적(25℃), 초음파 세정후 전반사형광X선 분석