Dust Filter for Grower
반도체/Solar/화합물 등의 결정성장용 Grower에 Metal Dust Filter로 Back Blowing실시하여 산화막의 축적을 방지하고 클리닝시간을 대폭 감소

적용분야 - 반도체/Solar/화합물 등의 결정성장용 Growing 공정, Dust 발생 공정

장점
1) 쉽고 빠른 유지관리 - · Housing을 Open할 필요 없이 On/Off조작으로 신속한 Cleaning 가능
2) 경제성 - · 반영구적 사용으로 경제적
· 짧은 Cleaning 시간, 보다 간단한 Cleaning으로 생산성 증대
[기존방식]
[Dust Filter에 의한 Back Blowing]
[Metal Dust Filter]
[Back Blowing방식]