Final Cleaner
■ 300mm/ 450mm Silicon Wafer Final Cleaner
· 장기간의 150/200mm부터의 경험과 최첨단 기술의 300/450mm Si Wafer Final cleaner에 적용
· 유수의 Si Wafer maker에 풍부한 공급실적
· 25매 Si wafer를 Pitch 5mm로 50매로 합하여 Cleaning 실시하는 특별한 기술보유
· IPA/Spin Drying의 없는 독특한 Wafer drying system
· SEC, GEM300, SMIF, AGV, Stocker, OHT, P&P의 모두 대응가능(자체 프로그래밍 실시)
[반도체 Si Wafer 최종세정기]
[Quartz Bath]
[FOUP Loader]
[Wafer Chucking Unit]
[Wet Loader]
[Accessory]
[Chemical분석기]